ユニティ・クリーンシステムの導入
『ユニティ・クリーンシステム』は、分野・場所によって異なるケミカルコンタミネーション(化学汚染)をコントロールし、清浄な環境を維持するシステムです。お客様の設置場所や適応分野にあわせて、ユニティソーブ・ユニティフィルタをご提案いたします。悪臭・有害ガス除去のご要望がございましたら、お気軽にご相談ください。
※上記の他に、除塵フィルタを装着して細かいゴミや埃を除去し、吸着剤の負荷を低減させることもできます。粗塵用から高性能用まで対応可能です。
適応分野・導入サンプル
美術館・博物館
建築直後の館ではコンクリートから発生するアンモニアやカルシウム等のアルカリ性ガスが、特に絵画に変色・損傷を及ぼす事もあります。また、収蔵庫で多く使用する木材から揮散する有機酸や、外気に起因する窒素酸化物・亜硫酸ガス等が腐食・退色・脆弱化の原因にもなります。
ユニティ・クリーンシステムではこれらの有害ガス成分を除去し、文化財の展示・保存にふさわしい環境を作ります。
| 分類 | 影響 | |
|---|---|---|
| 酸性ガス | フッ化水素、塩化水素、硫化水素、二酸化硫黄 他 | デバイス特性・積層欠陥、配線腐食等 |
| アルカリ性ガス | アンモニア、アミン類 他 | Tトップ現象、レンズや硝材の曇り等 |
| 有機物 | シロキサン､トルエン、ジオクチルフタレート 他 | ウエハ上への付着、デバイス特性欠陥等 |
| ドーパント(不純物) | ホウ素、リン 他 | LSl動作不良、トランジスタ動作電圧異常等 |
使用吸着剤・フィルタ
実験生物・動物舎等
実験生物・動物舎等では、動物の糞尿・体臭等から独特の臭気が発生します。臭気成分は硫化水素・メルカプタン類・硫化メチル等の硫黄系化合物とアンモニア・インドール・アミン類等の窒素系化合物です。
これらの臭気は飼育・研究に従事する人間の健康に悪影響を及ぼすとともに動物にとってもストレスとなります。
使用吸着剤・フィルタ
下水処理場・製紙工場・化学工場
基盤等の制御機器をダウンさせないために、中央操作室は最大限の腐食対策を取る必要があります。
既存の管理室でも加圧用及循環型空気清浄ユニットを設置し、有害ガスを除去して大きな効果をあげる事ができます。
使用吸着剤・フィルタ
半導体製造業界
超微細化・高集積化が進むデバイス・HDD製造などのクリーンルームにおいては、超微量の酸・アルカリ・有機・ドーパント物質が製品品質・特性に重大な影響を及ぼし、歩留まり低下の原因として指摘されています。
これらは外気由来物質とクリーンルーム内発生物質があります。
| 分類 | 影響 | |
|---|---|---|
| 酸性ガス | フッ化水素、塩化水素、硫化水素、二酸化硫黄 他 | デバイス特性・積層欠陥、配線腐食等 |
| アルカリ性ガス | アンモニア、アミン類 他 | Tトップ現象、レンズや硝材の曇り等 |
| 有機物 | シロキサン､トルエン、ジオクチルフタレート 他 | ウエハ上への付着、デバイス特性欠陥等 |
| ドーパント(不純物) | ホウ素、リン 他 | LSl動作不良、トランジスタ動作電圧異常等 |
使用吸着剤・フィルタ